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 　　微氧儀原理是基于庫侖法原理。樣品氣進入陰極室內，通過擴散膜氧聚集在陰極上，氧在陰極經電子化學池被還原，電解液內含有KOH，幫助氫氧根離子（OH－）向陽極移動；在陽極氫氧根離子被氧化成氧元素。在氧池電極上加約1.3V（DC）的電壓，是氧化還原反應的主要動力，采用放大電子電路可準確測量樣品氣中氧濃度相對應的等效電解電流，在儀表顯示盤上顯示出氧含量。